真空泵对真空等离子清洗机的真空度、抽真空时间以及整台设备的处理效果都有重要影响，所以选择合适的真空泵是对一台真空等离子清洗机的品质至关重要。真空等离子清洗机上常用的真空泵分为两种，分别是油式真空泵和干式真空泵。今天我们就来介绍一下等离子清洗机上所用到的真空泵种类和各自特点，以及选择真空泵时的注意点。

1.油式真空泵

油式真空泵是通过油来密封，润滑，降温的真空泵的统称。在真空等离子清洗机上的一种油式真空泵就是旋片式真空泵。

①旋片式真空泵

旋片式真空泵是一种油封式机械真空泵，其主要的部件有泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等。旋片式真空泵有单级和双级两种，等离子清洗机常用的是双级旋片式真空泵，所谓双级旋片式真空泵就是在结构上将两个单级泵串联起来。

旋片式真空泵的泵腔内偏心地装有一个转子，而转子的外圆与泵腔的内表面相切，同时转子槽内装有两个带弹簧的旋片。转子旋转时，靠离心力和弹簧的弹力使旋片顶端与泵腔体内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片式真空泵利用两个旋片将泵腔体分为3个部分，因为转子是偏心安装的，所以被分成的3个部分的空间会随着转子旋转而变化，利用压强差来达到抽气的目的。

旋片式真空泵在真空等离子清洗机上大多数用在小型腔体（80L以下）或者作为真空泵组的前级泵。

旋片式真空泵具有以下这些优点：

第一，旋片式真空泵在抽除腔体内的干燥气体的同时，也能抽除一定量的可凝性气体和气水混合物；

第二，结构相对简单，维护保养起来方便；

第三，体积小、重量较轻，便于安装移动；

第四，振动微小，噪音低；

第五，价钱相对低一些等。

2.干式真空泵

干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是不用油、水或其它聚合物等流体充当工作介质的一种真空泵。这样使得干式真空泵在洁净度方面更好，防止了油污染，所以干式真空泵大多用在对洁净度要求比较高的真空等离子清洗机上，比如说半导体领域、生物医疗领域以及航天航空领域等。在真空等离子清洗机上常用的一种干式真空泵就是干式螺杆真空泵。

①干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵是利用一对螺杆，在真空泵壳中作同步高速反向旋转，从而产生作用力来实现吸气和排气功能的真空泵。因为干式螺杆真空泵在工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，所以在工作腔无需润滑油。干式螺杆真空泵是一款性能优秀的干式真空泵，具有许多比其他真空泵好的地方：

第一，干式螺杆真空泵的极限真空度很高，最高极限真空可达到1-2Pa；

第二，干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低，维护简单；

第三，干式螺杆真空泵的一种工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层，可适应恶劣工况。