低温真空泵应用领域有哪些 低温真空泵的特点及适用范围

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  • 发表时间:2022-12-08 09:10:44

一、低温真空泵的原理与结构

低温真空泵是一种利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵,又叫冷泵、冷凝泵,一般是以低温液体(液氮或液氦)或低温制冷机为冷源。

二、低温真空泵应用领域有哪些

低温泵适合用于需要高真空度的领域,尤其适合应用于要求洁净无油或快速抽气的场合,例如半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜等领域。

三、低温真空泵的原理与结构

低温真空泵主要由泵壳、障板和冷屏、冷头、二级冷板等组成,其作用原理是:依靠冷源提供的冷量使表面气体被冷到低温冷凝时压力下降,不冷凝气体在低温下被固体吸附剂吸附,从而达到排气的效果,获得洁净真空,低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。

四、低温真空泵的优点

1、高极限真空度

标准的低温真空泵,其极限真空度可达10-7Pa,必要时,在不加其它辅助泵的情况下也可以做到10-9Pa,而理论上,甚至于达到10-11Pa以上极高真空。

2、大抽速

低温真空泵的抽速较快,尤其对水具有超高的抽速,其远高于其它真空泵,低温泵的高抽速使得建立真空的速度比其他真空泵快,可以大大提高产品产出量。

3、洁净

低温泵是真正的洁净无油、抽速高的高真空泵,它是利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空,在真空区域任何没有运动部件,没有油,所有清洁无污染。

4、运行成本低

低温真空泵可大大减少电能消耗,尤其是大口径泵。就抽速而言,低温泵仅需1/3的能耗就可以达到与扩散泵同等的效果。

5、安全可靠

低温真空泵的真空腔内无运动部件,来自外界的干扰或来自真空系统的微粒不影响工作;同时,由于低温泵回温具有一定“惯性”,可在突然停电的情况下,有效地保护真空腔体内真空,不至于被镀工件受到影响。

6、使用方便

低温泵对安装方位没要求,可以泵口超上、泵口朝下、水平位置安装或以腔体需要的任何角度安装。

7、使用寿命长

低温真空泵运动部件少且低速运行,通过日常的保养维护,低温泵的正常的使用寿命可达5~6万小时,有的甚至超过8万小时。

五、低温真空泵的缺点

1、需要降温时间(准备时间)。

2、需要再生。

3、购置成本高。


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