无油干式真空泵的用户大部分是由原先的油封真空泵、水环真空泵用户转换而来。那为什么越来越多的企业客户要放弃原先的油封真空泵或水环真空泵，而选择干式无油真空泵呢？

在干式无油真空泵没有得到广泛应用之前，真空泵客户使用的，无论是油封泵或者是水环泵，它们都是用油、水等介质作为真空泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。在常规领域，尤其是对返流、污染等情况不敏感或者要求不严格的前提下，油封泵、水环泵等有着明显优势：生产企业品牌众多，购置成本较低，且能满足真空性能要求等等。

但随着真空应用领域的扩大以及一些工艺对清洁真空的严苛需求，在一些领域，原有的油封泵、水环泵及其组成的抽气系统不可避免地出现了几个需要解决的问题：

一、真空泵的工作介质返流，污染被抽容器环境及产品。

在真空系统，尤其是高真空系统中，真空泵内的气体可能流返到被抽真空室内。这种返流现象，发生在油封泵等非干式真空泵上，其中的工作介质就会影响真空室的清洁环境，进而影响产品的品质、数量。传统的油封泵等为了处理这种现象就需要增加额外的吸附、冷凝等设备配套，增加设备的维护成本。

二、工作介质的变质反应，进而侵蚀设备。

一些工艺过程的抽取介质可能与工作介质发生反应，使真空泵内的工作介质变质或发生侵蚀，使泵故障而无法正常工作。如油封泵的泵油乳化或研磨颗粒混入泵油，水环泵的工作液与介质反应形成酸液等等。

三、回收介质污染。

在一些医药化工以及食品工业中，真空泵设备会用于有机溶剂的回收。此时油封真空泵与水环真空泵等都难以避免让工作介质与有机溶剂混合，造成污染，回收困难。此时就需要增加分离工艺以及相应的成套设备，导致使用成本增加。

四、环境污染。

油封泵或者水环泵等虽然都可以直排大气，但是因为抽取的介质都夹带油液。为了应对日益严峻的环保问题，减少对环境的污染，因此需要对排放介质进行处理，如水环真空泵的污水处理，一系列的设备与工艺部署就难以避免。

面对上述问题，干式无油真空泵却能很好地予以解决。工作泵腔无油无水，既不会对真空室产生污染，更不会污染抽取介质。且配套少，也可直排大气。虽然短期的购置投入成本超过传统真空泵，但后期的使用维护成本，干式无油真空泵却要远远低出，而且时间越久，后期成本差异就愈加明显。

因此说，在一些工艺应用上，例如气相沉积、半导体蚀刻工艺以及食品医药化工的蒸馏干燥、溶剂回收等等，对清洁真空要求强烈的领域，干式无油真空泵方案要比传统油泵更受企业青睐，也是越来越多的企业选择干式无油真空泵的原因。